新闻，7月30日，中国微半导体设备（上海）有限公司（以下简称“中国微”）今天宣布推出Prismo HiT3 MOCVD设备，该设备主要用于深紫外LED的批量生产。 MMC Prismo系列MOCVD设备现已进入全球大多数领先的蓝色和绿色LED制造商。据悉，此次推出的Prismo HiT3是MMC Prismo系列MOCVD设备的最新产品。该设备是适合于生长高质量氮化铝和高铝成分材料的关键设备。反应室的最高温度可以达到1400度。它具有出色的过程可重复性，均匀性和低缺陷率。该设备还设计用于高产量。一个炉子可以生长18个2英寸外延晶片，并且可以扩展为生长4英寸晶片。中国微公司的Prismo HiT3 MOCVD设备的早期客户包括国内领先的深紫外LED制造商马鞍山杰森半导体有限公司。该公司的深紫外线LED广泛用于家用，医疗和科研设备等领域。几十年前，深紫外光已用于工业和民用消毒与灭菌领域。它通过破坏细菌和病毒的DNA并使它们丧失繁殖能力而发挥作用。深紫外线LED用于不同波长的杀菌灯，与传统的汞灯相比，它们对环境没有污染。与SARS，MERS和新的冠状病毒的出现类似，对深紫外LED产品的需求激增，深紫外LED产品可以消除这些新微生物。目前，UVC波段中波长为260-280nm的深紫外光是该领域最先进的技术解决方案（例如Jason Semiconductor的深紫外LED产品）。由中国微电子设计的Prismo HiT3 MOCVD设备具有新颖的腔体设计，可以在高温环境下生长高质量的氮化铝工艺，并且具有行业领先的深紫外LED高产率。同时，它具有较长的平均无腔维护间隔时间，以进一步延长正常运行时间并提高生产能力。真空自动传输系统可以抑制颗粒的产生并减少缺陷。自动举升机构方便维护操作，有效节省维护时间。中国微电子表示：“中国微电子自主开发的Prismo HiT3 MOCVD设备延续了我们现有Prismo平台的主要创新功能，并改善了可在高温工艺环境中生长的氮化铝基材料的性能。对于深紫外LED的应用。